发明名称 CHEMICAL MECHANICAL ABRASIVE COMPOSITION FOR USE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
摘要
申请公布号 SG79296(A1) 申请公布日期 2001.03.20
申请号 SG19990006337 申请日期 1999.12.10
申请人 ETERNAL CHEMICAL CO., LTD 发明人 LEE TSUNG HO;LEE KANG-HUA;YEH TSUI-PING
分类号 C09G1/02;C09K3/14;(IPC1-7):C09G1/02 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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