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发明名称 THE COMPLEX FOR THE HIGH DIELECTRIC FILM DEPOSITION AND THE METHOD OF DEPOSITION
摘要
申请公布号 SG79282(A1) 申请公布日期 2001.03.20
申请号 SG19990004824 申请日期 1999.09.25
申请人 ROHM AND HAAS COMPANY 发明人 SHIN HYUN-KOOCK
分类号 H01L21/312;C07F3/00;C07F3/04;C07F5/00;C07F7/00;C07F7/24;C07F7/28;C07F9/00;C07F15/00;C23C16/18;C23C16/40;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):C07F3/00;C07F19/00 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
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