| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING AN OBJECT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG71938(A1) |
申请公布日期 |
2001.03.20 |
| 申请号 |
SG19990003910 |
申请日期 |
1999.08.12 |
| 申请人 |
MANUFACTURING INTEGRATION TECHNOLOGY LTD. |
发明人 |
TAN CHIN HIANG |
| 分类号 |
G01N21/88;G01R31/26;H01L21/60;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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