| 发明名称 |
Polishing apparatus including attitude controller for dressing apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1034886(A3) |
申请公布日期 |
2001.03.21 |
| 申请号 |
EP20000104556 |
申请日期 |
2000.03.13 |
| 申请人 |
EBARA CORPORATION |
发明人 |
SATOH, ICHIJU;KIMURA, NORIO |
| 分类号 |
B24B21/00;B24B21/18;B24B31/00;B24B53/017;H01L21/304;(IPC1-7):B24B37/04 |
主分类号 |
B24B21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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