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经营范围
发明名称
METHOD AND SYSTEM FOR CLEANING SEMICONDUCTOR ELEMENTS
摘要
申请公布号
EP1084002(A1)
申请公布日期
2001.03.21
申请号
EP19990927887
申请日期
1999.06.04
申请人
ASTEX GMBH
发明人
GOTTSCHALK, CHRISTIANE;SCHWECKENDIEK, JUERGEN;BRAMMER, ULRICH
分类号
B08B3/08;B08B3/10;C02F1/78;(IPC1-7):B08B3/08;H01L21/00
主分类号
B08B3/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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