PROCEDE DE FABRICATION DE CIBLES DE PULVERISATION INTER- METALLIQUES HAUTE-DENSITE

摘要

La présente invention concerne un procédé pour fabriquer des cibles de pulvérisation intermétalliques composées de deux ou de plus de deux éléments, dans lequel un mélange de deux ou de plus de deux poudres élémentaires est formé et est synthétisé à l'intérieur d'un dispositif de compression à une température inférieure au point de fusion de l'élément possédant le point de fusion le plus faible du mélange, suivi d'un chauffage de la poudre intermétallique synthétisée dans le dispositif de compression à une température inférieure au point de fusion de la structure intermétallique, tout en appliquant simultanément une pression sur la poudre de manière à obtenir une densité finale supérieure à 90 % de la densité théorique. La technique dite de la métallurgie des poudres de la présente invention permet d'obtenir une meilleure microstructure que les structures coulées, et évite toute contamination de la cible de pulvérisation en éliminant l'étape de broyage des agrégats intermétalliques synthétisés que rendent nécessaires des étapes de synthèse et de compression séparées.