发明名称 METHOD AND DEVICE FOR APPLYING A PLURALITY OF MICRODROPLETS ONTO A SUBSTRATE
摘要 <p>Eine Vorrichtung zum Aufbringen einer Mehrzahl von Mikrotröpfchen auf ein Substrat umfaßt eine Mehrzahl von Düsenöffnungen (14) in einem Dosierkopf. Neben einer Einrichtung zum Festlegen einer Flüssigkeitssäule eines zu dosierenden Mediums an jeder Düsenöffnung (14) ist eine mit einem Puffermedium befüllbare Druckkammer (30) vorgesehen, die derart angeordnet ist, daß durch das Puffermedium gleichzeitig ein Druck auf die von den Düsenöffnungen (14) beabstandeten Enden der Flüssigkeitssäulen ausübbar ist. Schließlich ist eine Druckerzeugungseinrichtung (8, 40) vorgesehen, um das Puffermedium mit einem Druck zu beaufschlagen, derart, daß durch die Mehrzahl von Düsenöffnungen (14) gleichzeitig eine Mehrzahl von Mikrotröpfchen auf das Substrat aufgebracht wird.</p>
申请公布号 WO2001017669(A1) 申请公布日期 2001.03.15
申请号 EP2000003173 申请日期 2000.04.10
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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