发明名称 FLASH MEMORY CELL FORMING METHOD BY A SELF-ALIGNED SOURCE ETCHING
摘要
申请公布号 KR100464904(B1) 申请公布日期 2004.12.24
申请号 KR19970051948 申请日期 1997.10.10
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, SEONG SIN
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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