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Es wird eine optische Positionsmeßeinrichtung angegeben, die eine Maßverkörperung sowie eine relativ hierzu in mindestens einer Meßrichtung bewegliche Abtasteinheit umfaßt. Ferner weist die Positionsmeßeinrichtung eine Lichtquelle, eine optionale Sendeteilung, eine Projektionsteilung, eine Detektionsteilung, eine optionale Vernierteilung sowie mehrere optoelektronische Detektorelemente auf, wobei das Licht der Lichtquelle in Wechselwirkung mit der Projektionsteilung ein Streifenmuster auf die Detektionsteilung projiziert, so daß über die Detektorelemente verschiebungsabhängige Ausgangssignale erfaßbar sind. Die Projektionsteilung ist derart ausgebildet, daß neben geraden Beugungsordnungen und der 0. Beugungsordnung des weiteren zumindest ein Teil der Y (2n + 1)-ten Beugungsordnungen unterdrückt wird, mit n = 1, 2, 3..., wodurch im wesentlichen lediglich die Y 1. Beugungsordnungen zur Erzeugung der Ausgangssignale beitragen. Ferner ist die Projektionsteilung aus in Meßrichtung alternierend angeordneten periodischen Amplituden- und Phasenstrukturen gebildet (Figur 1a).
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