STAGE SYSTEM WITH DRIVING MECHANISM AND EXPOSURE APPARATUS HAVING THE SAME

摘要

구동장치는 구동력을 발생하는 구동기구와, 구동기구를 제어하는 구동제어디바이스와, 구동기구로부터의 열을 회수하는 온도조절기구를 포함하고, 온도조절기구의 냉각량은 구동제어디바이스로부터 구동기구에 부여된 신호에 의거해서 제어 된다. 구동기구에 필요한 냉각량이나 구동기구에서의 발열량은 구동기구에 부여된 신호에 의거해서 예측되고, 다음에 냉각량이 제어된다.