METHOD AND DEVICE FOR PRECISION MASS FLOW MEASUREMENT

摘要

Es wird ein Verfahren und ein Sensor (15, 9, 14) zur verbesserten Massenflussmessung offenbart. In bekannten thermischen Massenflusssensoren wird ein Gasstrom (7) mit einem Heizelement (4) gewärmt und aus der Temperaturdifferenz zweier Thermoelemente (5, 6) der Massenfluss bestimmt. Erfindungsgemäss wird nun zusätzlich mindestens eine stoffspezifische Kenngrösse zur Charakterisierung des Wärmeübergangsverhaltens des Gases (8) gemessen und damit die Massenflussmessung korrigiert. Vorzugsweise ist die stoffspezifische Kenngrösse eine Wärmeleitfähigkeit kappa , eine Wärmekapazität c, ein Produkt aus Wärmekapazität und Dichte c* rho und/oder eine Diffusivität alpha . Es wird ein spezieller Sensor (9) zur Messung von kappa und/oder c oder c* rho angegeben, der ähnlich wie der Massenflusssensor (15) aufgebaut ist, aber einem strömungsfreien Anteil (8a) des Mediums (8) ausgesetzt wird. Vorteile der Erfindung sind u. a. eine verbesserte Genauigkeit auch bei unbekannten oder veränderlichen thermischen Eigenschaften des Gases (8).