TiO<SUB>2</SUB>纳米光催化不锈钢和钛纤维丝条的制备方法

摘要

一种TiO₂纳米光催化不锈钢和钛纤维丝条的制备方法，在宽0.3～3mm、厚0.01～0.1mm的不锈钢和钛纤维丝条的前后表面上涂镀有TiO₂纳米薄膜、两侧面涂镀或不涂镀有TiO₂纳米薄膜。其制备方法为：待镀基体清洗干净，干燥备用，将基体装入真空镀膜机中，溅射靶材为金属钛板，抽真空，充入氩气，基体加偏压，按常规方法分别放电清洗钟，调基体偏压，再充入氩气，调节真空镀膜机中闭合磁场调制线圈的电流，加靶电压，在基体上沉积钛膜，在真空镀膜机中再充入氧气与氩气混合气体，在基体上沉积TiO₂纳米薄膜，热处理，检验，切纤维丝条。该纤维丝条编织的过滤网和制成的过滤毡能杀毒灭菌、分解有害物质。

主权项

1、一种TiO2纳米光催化不锈钢和钛纤维丝条的制备方法，其特征在于它包括下述步骤：(1)待镀不锈钢或钛箔材基体的表面清洗干净，然后干燥备用；(2)将不锈钢或钛箔材基体装入直流闭合磁场非平衡磁控对靶溅射真空镀膜机中，置于两个溅射靶中间位置，与溅射靶面平行，用专用夹具拉直，溅射靶距基体之间的距离为160～220mm，溅射靶材为99.99％金属钛板；(3)直流闭合磁场非平衡磁控对靶溅射镀膜机抽真空到2.5×10-3Pa，充入纯度为99.99％的氩气，使直流非平衡闭合磁场磁控对靶溅射镀膜机的真空室压力达到8×10-3Pa～1×10-2Pa，基体加-400～-500V偏压，对基体和溅射靶面按常规方法分别放电清洗5～10分钟；(4)基体偏压调至-90～-130V，充入氩气，使真空室内压力达到2～5×10-1Pa，调节直流闭合磁场非平衡磁控对靶溅射真空镀膜机中闭合磁场调制线圈的电流，使基体附近磁场强度达到4～8mT，溅射靶电压为405～420V，靶面功率密度为5～7W/cm2，沉积钛膜的厚度在不锈钢箔上15～25nm、在钛箔上为10～20nm，沉积过程中，基体温度为220～250℃；(5)在直流非平衡闭合磁场磁控对靶溅射真空镀膜机中再充入纯度为99.99％的氧气与氩气混合气体至真空室内的压力为0.8～1.0Pa，真空室内氧气与氩气的混合比例为1∶5.5～8，沉积TiO2膜的厚度为250～300nm，溅射电压为395～410v，基体温度为250～350℃；(6)镀膜结束后，关断溅射靶电源、磁场调制线圈电源及基体负偏压电源，关氩气，并使真空室内氧分压调至1.5×10-2Pa，基体温度为350～430℃，热处理25～40分钟，关氧气，关断加热电源，自然冷却至室温；(7)检验：用X射线衍射仪、原子力显微镜按本发明产品的技术条件检验，TiO2纳米光催化薄膜中锐钛晶型为70～85％，金红石晶型为15～30％，晶粒尺寸为10～100nm；(8)用鳄鱼剪切机将镀有TiO2纳米光催化薄膜的箔材剪切成0.3～3mm宽的纤维丝条。