| 摘要 |
<p>본 발명은 열전 반도체를 이용한 정전척의 표면온도 제어시스템에 관한 것으로, 알루미늄제의 본체와, 도전제 및 이 도전제를 감싸는 유전층으로 이루어져 전원에 의해 바이어스 전압이 인가되어 정전기를 발생시키는 정전기 발생부, 이 정전기 발생부의 하측에 구비되어 냉각수가 유동되는 냉각통로 및, 이 냉각통로로의 냉각제 유입을 제어하는 콘트롤러를 구비하여 구성되는 정전척에 있어서, 상기 정전기 발생부와 냉각통로 사이로 전원의 인가에 따라 열을 방출 및 흡수하는 소정 개수의 전자 냉각모듈(1)과, 센서에 의해 상기 각각의 전자 냉각모듈(1) 상부의 대응하는 정전척 표면의 온도를 감지하고, 이 감지된 신호에 따라 상기 전자 냉각모듈(1)을 제어하여 상기 정전척 표면의 온도를 일정하게 제어하는 제어유닛(2) 및, 상기 전자 냉각모듈(1)을 구동시키는 전원 공급유닛(3)을 구비하여 구성된 것이다.</p> |
