发明名称 Reinigungsvorrichtung
摘要 Eine Reinigungsvorrichtung umfaßt Düseneinrichtungen, welche eine Ausspritzöffnung, einen Reinigungsflüssigkeitsweg, welcher mit der Ausspritzöffnung in Verbindung steht, und einen Druckgasweg aufweisen, welcher mit der Ausspritzöffnung in Verbindung steht. Die Reinigungsvorrichtung umfaßt weiter Reinigungsflüssigkeits-Zufuhreinrichtungen zum Zuführen einer Reinigungsflüssigkeit zu dem Reinigungsflüssigkeitsweg und Druckgas-Zufuhreinrichtungen zum Zuführen eines Druckgases zu dem Druckgasweg. Das Druckgas wird aus der Ausspritzöffnung durch den Druckgasweg ausgestoßen, während eine Reinigungsflüssigkeit aus der Ausspritzöffnung durch den Reinigungsflüssigkeitsweg ausgestoßen wird.
申请公布号 DE10019472(A1) 申请公布日期 2001.03.15
申请号 DE2000119472 申请日期 2000.04.19
申请人 DISCO CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 OZAWA, NARITOSHI;OHKAWARA, SATOSHI;QIU, XIAOMING
分类号 B08B5/00;B05B7/04;B08B3/02;B28D5/00;H01L21/00;H01L21/301;H01L21/304;(IPC1-7):B08B7/00;H01L21/306 主分类号 B08B5/00
代理机构 代理人
主权项
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