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发明名称
METHOD OF AND MACHINE FOR PATTERN WRITING BY AN ELECTRON BEAM
摘要
申请公布号
KR20010022496(A)
申请公布日期
2001.03.15
申请号
KR1020007001082
申请日期
2000.01.31
申请人
发明人
分类号
H01J37/317
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
地址
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