发明名称 |
Verfahren zur Herstellung oberflächenmikromechanischer Strukturen durch Ätzung mit einem dampfförmigen, flußsäurehaltigen Ätzmedium |
摘要 |
Es wird ein Verfahren zur Herstellung oberflächenmikromechanischer Strukturen vorgeschlagen, wobei zunächst auf ein beheizbares Substrat (25) eine Opferschicht (2) deponiert und strukturiert wird, die zumindest weitgehend oder bereichsweise aus Siliziumdioxid besteht, und dann auf der Opferschicht (2) eine zweite Schicht (3) abgeschieden und strukturiert wird. Anschließend wird dann die Opferschicht (2) in einem Ätzprozeß durch ein dampfförmiges, flußsäurehaltiges Ätzmedium (24) entfernt, wodurch die oberflächenmikromechanischen Strukturen (9) entstehen. Weiter wird mit dem fortschreitenden Entfernen der Opferschicht (2) eine kontrollierte Veränderung der relativen Feuchtigkeit in dem Ätzmedium (24) vorgenommen.
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申请公布号 |
DE19941042(A1) |
申请公布日期 |
2001.03.15 |
申请号 |
DE19991041042 |
申请日期 |
1999.08.28 |
申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
LAERMER, FRANZ;SCHILP, ANDREA |
分类号 |
B81C1/00;B81B3/00;H01L21/00;H01L21/302;H01L29/84;(IPC1-7):B81C1/00;H01L21/306;H01L21/311 |
主分类号 |
B81C1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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