SEMICONDUCTOR WAFER SEPARATOR

摘要

본 발명의 반도체 웨이퍼 분리장치는 블록 받침대(12)의 상측에 웨이퍼 삽입 블록(11)들을 나열설치하고, 그 블록 받침대(12)의 일측에 블록 리프팅 레버(13)들을 나열설치하여, 웨이퍼 삽입 블록(11)에 웨이퍼(W)들을 탑재한 상태에서 다른 롯드의 웨이퍼가 혼입된 것을 발견하는 경우에 해당 블록 리프팅 레버를 이용하여 웨이퍼 삽입 블록을 일정각도로 회동시킨 다음, 작업자가 트위저로 웨이퍼를 인출하게 된다.