METHOD AND DEVICE FOR APPLYING A PLURALITY OF MICRODROPLETS ONTO A SUBSTRATE

摘要

Eine Vorrichtung zum Aufbringen einer Mehrzahl von Mikrotröpfchen auf ein Substrat umfasst eine Mehrzahl von Düsenöffnungen (14) in einem Dosierkopf. Neben einer Einrichtung zum Festlegen einer Flüssigkeitssäule eines zu dosierenden Mediums an jeder Düsenöffnung (14) ist eine mit einem Puffermedium befüllbare Druckkammer (30) vorgesehen, die derart angeordnet ist, dass durch das Puffermedium gleichzeitig ein Druck auf die von den Düsenöffnungen (14) beabstandeten Enden der Flüssigkeitssäulen ausübbar ist. Schliesslich ist eine Druckerzeugungseinrichtung (8, 40) vorgesehen, um das Puffermedium mit einem Druck zu beaufschlagen, derart, dass durch die Mehrzahl von Düsenöffnungen (14) gleichzeitig eine Mehrzahl von Mikrotröpfchen auf das Substrat aufgebracht wird.