| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR PLASMABESCHICHTUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69231293(T2) |
申请公布日期 |
2001.03.15 |
| 申请号 |
DE19926031293T |
申请日期 |
1992.05.08 |
| 申请人 |
CELESTECH, INC. |
发明人 |
CANN, L.;SHEPARD, B.;MCKEVITT, L. |
| 分类号 |
C23C16/26;C23C4/12;C23C16/27;C23C16/458;C23C16/50;C23C16/513;C30B29/04;H01L21/205;(IPC1-7):B05D3/06;C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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