SPUTTER COATING SYSTEM AND METHOD USING SUBSTRATE ELECTRODE,申请号KR1019997012327-传众专利搜索

发明名称	SPUTTER COATING SYSTEM AND METHOD USING SUBSTRATE ELECTRODE
摘要
申请公布号	KR20010020525(A)	申请公布日期	2001.03.15
申请号	KR1019997012327	申请日期	1999.12.24
申请人		发明人
分类号	C23C14/34	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
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