A CARRIER HEAD WITH A FLEXIBLE MEMBRANE FOR A CHEMICAL MECHANICAL POLISHING SYSTEM,申请号KR1020007000294-传众专利搜索

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发明名称	A CARRIER HEAD WITH A FLEXIBLE MEMBRANE FOR A CHEMICAL MECHANICAL POLISHING SYSTEM
摘要
申请公布号	KR20010021732(A)	申请公布日期	2001.03.15
申请号	KR1020007000294	申请日期	2000.01.11
申请人		发明人
分类号	B24B37/04	主分类号	B24B37/04
代理机构		代理人
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