透过回授之错误侦测

摘要

本发明提供一种用来执行动态加权技术以执行错误侦测之方法、装置、以及系统。该方法包含下列步骤：处理工件；以及执行与该工件的处理有关之错误侦测分析。该方法进一步包含下列步骤：决定该错误侦测分析有关的参数与被侦测到的错误间之关系；以及根据该参数与该被侦测到的错误间之该关系，而调整与该参数相关联的加权。