发明名称 电子组件的三维检测方法和设备
摘要 一种用于检测球形网格阵列即BGA装置(70)的对准和部件检测方法以及设备。两个相机(10、15)对淀积在透明标线片(20)上的带有点图纹的精密图纹掩模(22)进行成像。精密图纹掩模(22)用于系统的校准。光源和架空式光反射漫射器(5)提供照明。第一相机(10)从正下方对标线片精密图纹掩模(22)成像。位于标线片(20)底表面下方的附加反射镜(32、36)或棱镜(30、34)将标线片图纹掩模(22)以侧视图通过棱镜(30、34)或反射表面(32、36、38)反射至第二相机(15)。位于标线片(20)底表面下方的第二附加反射镜(32、36、38)或棱镜(30、34)将该标线片图纹掩模(22)的另一相反侧视图通过棱镜(30、34)或反射镜(32、36、38)反射至第二相机(15)。
申请公布号 CN1287643A 申请公布日期 2001.03.14
申请号 CN99802016.8 申请日期 1999.01.13
申请人 埃尔温·M·贝蒂 发明人 埃尔温·M·贝蒂;戴维·P·莫克
分类号 G06K9/00 主分类号 G06K9/00
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 韩宏
主权项 1. 一种用于检测球形网格阵列(70)的设备,其中该设备通过采用 淀积在一个校准透明标线片(20)上的带有点图纹(24)的精密 图纹掩模(22)被校准,该用于检测球形网格阵列(70)的设备 包括: (a)一个用于安装球形网格阵列(70)的装置; (b)一个用于照射球形网格阵列(70)以提供该球形网格阵列轮廓 的装置; (c)一个第一相机(10),设置成对该球形网格阵列成像以提供球 形网格阵列(70)的第一图像(80); (d)一个第一光反射装置(34),设置成将该球形网格阵列反射通 过一个第二光反射装置(36)进入一个第二相机(15),其中 第二相机(15)提供球形网格阵列(70)的第二图像(90); (e)一个第三光反射装置(30),设置成将该球形网格阵列的相反 侧视图反射至一个第四光反射装置(32)并进入第二相机 (15),作为球形网格阵列(70)的第二图像的一部分;和 (f)一个图像处理装置(13),用于处理球形网格阵列(70)的第 一图像(80)和第二图像(90),以检测球形网格阵列(70)。
地址 美国明尼苏达州