发明名称 Carbon nanotube - metal contact with low contact resistance
摘要 A metal to Carbon nanotube contact region is described that comprises a chemical bond between the metal and the Carbon nanotube.
申请公布号 US2006223243(A1) 申请公布日期 2006.10.05
申请号 US20050095829 申请日期 2005.03.30
申请人 RADOSAVLJEVIC MARKO;BRASK JUSTIN;DATTA SUMAN;MAJUMDAR AMLAN;CHAU ROBERT S 发明人 RADOSAVLJEVIC MARKO;BRASK JUSTIN;DATTA SUMAN;MAJUMDAR AMLAN;CHAU ROBERT S.
分类号 H01L21/84;H01L21/00 主分类号 H01L21/84
代理机构 代理人
主权项
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