发明名称 GAS DELIVERY SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1082754(A1) 申请公布日期 2001.03.14
申请号 EP20000907803 申请日期 2000.03.06
申请人 SURFACE TECHNOLOGY SYSTEMS LIMITED 发明人 BHARDWAJ, JYOTI, KIRON;LEA, LESLIE, MICHAEL;SHEPHERD, NICHOLAS
分类号 B01J7/00;B01J12/00;B01J19/08;B01J19/24;B81C1/00;C01B7/24;C07C17/00;G01P15/08;G01P15/125;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B01J7/00
代理机构 代理人
主权项
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