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经营范围
发明名称
GAS DELIVERY SYSTEM
摘要
申请公布号
EP1082754(A1)
申请公布日期
2001.03.14
申请号
EP20000907803
申请日期
2000.03.06
申请人
SURFACE TECHNOLOGY SYSTEMS LIMITED
发明人
BHARDWAJ, JYOTI, KIRON;LEA, LESLIE, MICHAEL;SHEPHERD, NICHOLAS
分类号
B01J7/00;B01J12/00;B01J19/08;B01J19/24;B81C1/00;C01B7/24;C07C17/00;G01P15/08;G01P15/125;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
B01J7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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