发明名称 高熔点金属原子束发射源
摘要 一种高熔点金属原子束发射源,含有置于顶上带炉盖的周围有冷却水管的炉体内部中心的加热管。加热管内有盛放原子束金属材料的坩埚。加热管管壁中部有原子束喷孔。对准原子束喷孔的加热管的防辐射层上有大开孔,对准大开孔的炉体上有侧筒。由加热管内发射的原子束流通过原子束喷孔,大开孔和侧筒喷向真空使用系统。本实用新型避免了大电流和冷却水的真空过渡,结构紧凑,操作方便,发射源中心温度可达到2300℃。
申请公布号 CN2423583Y 申请公布日期 2001.03.14
申请号 CN99227855.4 申请日期 1999.07.15
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 蔡惟泉;曾庆林;李传文;李佛生;霍芸生;王育竹
分类号 G01N21/71 主分类号 G01N21/71
代理机构 上海华东专利事务所 代理人 李兰英
主权项 1.一种高熔点金属原子束发射源,包括带有炉盖(4)的炉体(7),在炉体(7)内置放盛有原子束金属材料(10)的坩埚(9),炉体(7)的外部绕有冷却水管(12),其特征在于在炉体(7)内与炉体(7)同轴心O1O1地置有一直立的加热管(8),加热管(8)管壁中间部位有原子束喷孔(19),在加热管(8)的顶上有盖帽(6),在加热管(8)内的下部放置盛有原子束金属材料(10)的坩埚(9),加热管(8)的外围及上下均有防辐射层(15),在加热管(8)周围的防辐射层(15)上在对准原子束喷孔(19)的方向上有大开孔(24),炉体(7)的侧壁上在对准大开孔(24)的方向上密封焊接有侧筒(16),侧筒(16)的顶端有小法兰(17),小法兰(17)通过螺钉(23)连接有大法兰(21),小法兰(17)与大法兰(21)之间有法兰密封圈(20),加热管(8)的盖帽(6)顶端与穿过炉盖(4)中心的电极(2)的下端紧密插接,加热管(8)的下端与炉体(7)底部的突起部分(13)紧密插接,电极(2)与炉盖(4)之间有绝缘垫圈(22),电极(2)上的电极馈线接头(1)和炉体(7)底座上的底座馈线接头(11)与供电装置(27)相连,电极(2)内部由进水口(25)和出水口(26)通有冷却水,炉体(7)与炉盖(4)之间有炉盖密封圈5,在电极2与炉盖4之间有双重密封圈(3),接近加热管(8)的管壁附近置有热电偶(14)。
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