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发明名称 Method and apparatus for forming thin films
摘要
申请公布号 GB2343461(B) 申请公布日期 2001.03.14
申请号 GB19990026152 申请日期 1999.11.04
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 MASASHI * ICHIKAWA
分类号 H01L21/205;C23C16/34;C23C16/44;C23C16/56;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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