| 发明名称 |
Method for reducing the amount of perfluorocompound gas contained in exhaust emissions from plasma processing |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU6634900(A) |
申请公布日期 |
2001.03.13 |
| 申请号 |
AU20000066349 |
申请日期 |
2000.08.11 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
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| 分类号 |
B01D53/34;B01D53/68;B01D53/70;C23C16/44;H01L21/302 |
主分类号 |
B01D53/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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