导筒以及在其内周面上形成硬质碳膜的方法

摘要

本发明提供设在自动车床上、用于保持被加工物的导筒以及在其内周面形成硬质碳膜的方法。在本发明中，在导筒（１１）的与被加工物（５１）滑接的内周面（１１ｂ）上设置硬质碳膜（１５），在导筒（１１）内周面上形成硬质碳膜（１５）的方法是，把导筒（１１）配置在真空槽内，把辅助电极插入导筒（１１）的形成与被加工物（１５）滑接之内周面（１１ｂ）的中心开口内，导入含碳气体，产生等离子体，形成硬质碳膜。从而，可在内周面上有效地形成硬质碳膜，该硬质碳膜有良好的密接性和均匀的碳膜厚度。在上述方法中，在形成硬质碳膜时，可以在硬质碳膜与内周面之间夹设硬质部件或者通过中间层进一步提高硬质碳膜的密接性。因此，可以明显地增加导筒（１１）的强度和寿命，即使进行切削量大、加工速度高的强力切削，在被加工物上也不产生伤痕，不产生烧接，可进行长时间的高精度加工。$＃!

主权项

1．一种导筒，大致呈圆筒状，具有轴向贯通的中心开口，在其纵长方向的一端部形成外周锥面和用于使其具有弹性的切槽，在另一端部具有用于安装在自动车床的立柱上的螺纹部，在形成上述外周锥面部分的内周，形成保持被加工物的内周面，通过安装在自动车床上，由保持上述被加工物的内周面，可在切削刀具附近旋转以及沿轴向滑动地保持穿入上述中心开口的被加工物；其特征在于：在保持上述被加工物的内周面附近的基材内形成渗碳层，在形成该渗碳层的内周面上设置硬质碳膜，该硬质碳膜为氢化非晶形碳膜。