| 主权项 |
1.一种针对一制造系统且在该制造系统上可经由 一或多个制程机台处理各基材的制程机台最佳化 系统,该系统包含: 一制程机台资料采撷引擎,其系连接以接收来自至 少一该制程机台之制程资讯,其中该制程机台资料 采撷引擎输出与低良率相关的制程机台故障之前 导的良率影响讯号;以及 一制程最佳化引擎,其系连接以接收来自该制程机 台资料采撷引擎之该良率影响讯号; 其中,为了回应接收该制程机台故障之前导的良率 影响讯号,该制程最佳化引擎识别出在故障前应被 取代的各部分。 2.如申请专利范围第1项所述之系统,其更包含: 一生产线端资料采撷引擎,其系连接以提供该制程 机台资料采撷引擎一识别与低良率相关联之一制 程机台的输出资料; 其中该制程机台资料采撷引擎输出该良率影响讯 号以回应以由该生产线端资料采撷引擎所提供的 该输出资料。 3.如申请专利范围第2项所述之系统,其中该生产线 端资料采撷引擎与该制程机台资料采撷引擎系运 作于独立硬体之独立应用程式。 4.如申请专利范围第2项所述之系统,其中生产线端 资料采撷引擎与该制程机台资料采撷引擎系运作 于相同硬体之个别应用程式。 5.如申请专利范围第2项所述之系统,其中生产线端 资料采撷引擎与该制程机台资料采撷引擎系相同 资料采撷引擎。 6.一种用于最佳化一晶圆厂处理流程且在其上可 经由一或多个制程机台处理各基材的制程机台最 佳化系统,该系统包含: 一制程机台资料采撷引擎,其系连接以接收来自至 少一该制程机台之制程资讯,其中该制程机台资料 采撷引擎输出识别与低良率相关的制程机台参数 的良率影响讯号;以及 一制程最佳化引擎,其系连接以接收来自该制程机 台资料采撷引擎之该良率影响讯号,并且其系连接 以输出反馈资讯至该等制程机台之至少一者; 其中,在该等制程机台所执行的之各制程步骤期间 ,该制程机台资料采撷引擎以及该制程最佳化引擎 顺着处理流程之反向来提供制程修正以执行持续 性的监控及错误修正行动。 7.如申请专利范围第6项所述之系统,其更包含: 一生产线端资料采撷引擎,其系连接以提供该制程 机台资料采撷引擎一识别与低良率相关联之一制 程机台的输出资料; 其中该制程机台资料采撷引擎输出该良率影响讯 号以回应以由该生产线端资料采撷引擎所提供的 该输出资料。 8.一种针对一制造系统且在该制造系统上可经由 一或多个制程机台处理各基材的制程机台最佳化 系统,该系统包含: 一制程机台资料采撷引擎,其系连接以接收来自该 等制程机台之制程资讯,其中该制程机台资料采撷 引擎输出识别与低良率相关的制程机台参数的良 率影响讯号;以及 一制程最佳化引擎,其系连接以接收来自该制程机 台资料采撷引擎之该良率影响讯号,并且其系连接 以输出反馈资讯至该等制程机台; 其中,为了回应接收识别该等与低良率相关的制程 机台之一者之一参数的良率影响讯号,该制程最佳 化引擎输出至该制程机台的反馈,其中该反馈指示 一制程机台来监控该参数。 9.如申请专利范围第8项所述之系统,其更包含: 一生产线端资料采撷引擎,其系连接以提供该制程 机台资料采撷引擎一识别与低良率相关联之一制 程机台的输出资料; 其中该制程机台资料采撷引擎输出该良率影响讯 号以回应以由该生产线端资料采撷引擎所提供的 该输出资料。 10.一种针对一制造系统且在该制造系统上可经由 一或多个制程机台处理各基材的制程机台最佳化 系统,该系统包含: 一或多个制程机台,其中各制程机台包含一资料收 集工具,及系用于当该制程机台处理各基材时而即 时收集以及储存资料;以及 一制程机台资料采撷引擎,其系连接以存取来自该 资料收集工具的该处理资料, 其中,为了回应该制造系统之一故障,该制程机台 资料采撷引擎存取关于来自储存在该等资料收集 工具之一者之该处理资料之该故障的处理资料。 11.如申请专利范围第10项所述之系统,其中该一或 多个制程机台包含个别包括明确之第一及第二资 料收集工具之明确的第一及第二制程机台。 12.如申请专利范围第10项所述之系统,其更包含: 一生产线端资料采撷引擎,其系连接以提供该制程 机台资料采撷引擎一识别与低良率相关联之一制 程机台的输出资料; 其中该制程机台资料采撷引擎决定存取自该资料 收集工具的处理资料以回应来自该生产线端资料 采撷引擎之该输出资料。 13.如申请专利范围第10项所述之系统,其更包含: 一生产线端资料采撷引擎,其系连接以提供该制程 机台资料采撷引擎一识别与低良率相关联之一制 程机台及一特定时间; 其中该制程机台资料采撷引擎存取来自该资料收 集工具之该所识别制程机台以及该特定时间的处 理资料,以回应来自该生产线端资料采撷引擎之该 输出资料。 14.一种针对一制造系统且在该制造系统上可经由 一或多个制程机台处理各基材的制程机台最佳化 系统,该系统包含: 第一及第二明确制程机台; 第一或第二量测/侦测系统,其系不同于该第一及 第二制程机台;以及 一资料采撷引擎,其系连接以接收来自该第一或第 二量测/侦测系统的量测资料; 其中该第一量测/侦测系统系耦合至该第一制程机 台,以便于在一基材在该第一制程机台内接受处理 之后而传送来自该该第一制程机台之该基材至该 第一量测/侦测系统; 其中该第二量测/侦测系统系耦合至该第二制程机 台,以便于在一基材在该第二制程机台内接受处理 之后而传送来自该该第二制程机台之该基材至该 第二量测/侦测系统。 15.如申请专利范围第14项所述之系统,其中该第一 或第二量测/侦测系统系相同的量测/侦测系统。 16.如申请专利范围第14项所述之系统,其中该资料 采撷引擎系更连接以接收来自该等制程工具之一 者的量测资料。 17.一种处理基材之制程机台的制程机台最佳化系 统,该系统包含: 一生产线端资料采撷引擎,其系用于分析生产线端 良率资料以识别与良率相关之一或多个制程机台; 以及 一制程机台资料采撷引擎,其系连接以接收来自一 或多个制程机台之制程机台资料,并且其持续地在 处理该等基材期间,然为了回应来自该生产线端资 料采撷引擎的输出,分析来自一或多个制程机台之 制程机台资料以识别一或多个与良率相关之制程 机台参数。 18.如申请专利范围第17项所述之系统,其中该生产 线端资料采撷引擎更进一步分析生产线端良率资 料以识别与良率相关之一或多个制程机台以及时 间。 19.如申请专利范围第17项所述之系统,其更包含一 资料收集工具,其系监控一或多个制程机台之各制 程控制参数,并且传送该制程机台资料之一或多者 以及该制程机台资料之一分析至该制程机台资料 采撷引擎。 20.如申请专利范围第19项所述之系统,其中该资料 收集工具包含一或多个明确的资料收集工具,各者 系关联于一明确的制程机台。 21.如申请专利范围第20项所述之系统,其中该一或 多个资料收集工具包含一或多个应用程式以侦测 预设的制程条件是否偏离预设的范围。 22.如申请专利范围第20项所述之系统,其中该一或 多个资料收集工具包含一或多个应用程式以判断 预设制程机台效能指标。 23.如申请专利范围第17项所述之系统,其更包含量 测/侦测系统,能将一个或数个量测资料、缺陷量 测资料、缺陷查验资料及缺陷来源资料传送到该 制程机台资料采撷引擎。 24.如申请专利范围第23项所述之系统,其中该一个 或多个量测/侦测系统包含一或数个参数度量工具 、检查工具、缺陷查验系统、缺陷来源识别器及 制程知识库。 25.如申请专利范围第17项所述之系统,其中该制程 机台资料采撷引擎系将与一个或数个低良率相关 制程机台参数有关的资料传送到一制程最佳化引 擎。 26.如申请专利范围第25项所述之系统,其中该制程 最佳化引擎系一知识式系统,其系为了回应与一或 多个制程机台参数有关的资讯而建立一阶层式知 识系统。 27.如申请专利范围第17项所述之系统,其中该制程 机台资料采撷引擎系将与一或多个低良率相关制 程机台参数有关的资料传送到一或多个缺陷来源 识别器,以及关联于一或多个低良率相关制程机台 的制程知识库。 28.如申请专利范围第17项所述之系统,其中该制程 机台资料采撷引擎回应于该生产线端资料采撷引 擎之输出,分析一或多个来自于一或多个低良率相 关制程机台的资料、来自于一或多个其它制程机 台的制程机台资料及历程性制程机台资料。 29.如申请专利范围第28项所述之系统,其更包含一 资料收集工具,其系用于监控一或多个制程机台之 制程控制参数,并将一或多个制程机台资料及该制 程机台资料之一分析传送到该资料采撷引擎;且其 中该制程最佳化引擎将一或数个制程机台之制程 控制资讯传送到该资料收集工具。 30.如申请专利范围第29项所述之系统,其中该资料 收集工具系利用一或多个制程机台的制程控制资 讯来监控一或多个制程机台。 图式简单说明: 第1图为根据本发明之实施例所制造的制程机台最 佳化系统的方块图。 |
