Polishing system and method of its use,申请号AU20000066321-传众专利搜索

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发明名称	Polishing system and method of its use
摘要
申请公布号	AU6632100(A)	申请公布日期	2001.03.13
申请号	AU20000066321	申请日期	2000.08.10
申请人	CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION	发明人	SHUMIN WANG;VLASTA BRUSIC KAUFMAN;STEVEN K. GRUMBINE;RENJIE ZHOU;ISAAC K. CHERIAN
分类号	B24B37/00;B24B57/02;B24D11/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304	主分类号	B24B37/00
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