| 发明名称 |
Chemical mechanical polishing systems and methods for their use |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU6379500(A) |
申请公布日期 |
2001.03.13 |
| 申请号 |
AU20000063795 |
申请日期 |
2000.07.26 |
| 申请人 |
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
SHUMIN WANG;VLASTA BRUSIC KAUFMAN |
| 分类号 |
B24B57/02;B24B37/00;C09C1/68;C09G1/02;C09K3/14;C23F3/06;H01L21/304;H01L21/321 |
主分类号 |
B24B57/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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