物质与气体多级回收再利用之镀膜系统

摘要

一种物质与气体多级回收再利用之镀膜系统，主要系利用预先抽成高度真空的真空筒将舱体内之蒸镀保护气体抽出，且舱体抽出的气体并藉舱体以及各真空筒之间的回收装置过滤，而由各真空筒抽出净化之气体并以储存筒储存以供再度输入舱体循环使用。