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发明名称
摘要
申请公布号	JP3144382(B2)	申请公布日期	2001.03.12
申请号	JP19980137882	申请日期	1998.05.20
申请人		发明人
分类号	G01R31/26;H01L23/32;H01R33/76;(IPC1-7):H01R33/76	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
主权项
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