| 主权项 |
1.一种电浆处理系统,其中包含一电浆处理室,该电浆处理室中设置电浆产生电极,其中之改善为电浆处理室之暴露于电浆之内部之至少一表面为玻璃状碳材料所制,其中该玻璃状碳材料是由一源料所获得,该源料是选自于纤维素、酚树脂、聚碳化二亚胺树脂、喃树脂及其混合物。2.一种电浆处理系统之保护构件,此置于电浆处理室中,处理室包含二电浆产生电极,用以形成一电浆区于二电极之间,在二电极之每一个之侧边上,其方式在掩蔽该电浆区,其中之改善为电浆区之侧边上之保护构件之至少一表面为玻璃状碳材料所制,其中该玻璃状碳材料是由一源料所获得,该源料是选自于纤维素、酚树脂、聚碳化三亚胺树脂、喃树脂及其混合物。图式简单说明:第一图为概要图,显示本发明之一实施例。 |
