发明名称 Zuverlässigkeitstestverfahren für Halbleiternutanordnungen
摘要
申请公布号 DE69519056(T2) 申请公布日期 2001.03.08
申请号 DE19956019056T 申请日期 1995.06.19
申请人 SILICONIX INC., SANTA CLARA 发明人 HSIEH, FWU-IUAN;CHOI, CALVIN K.;COOK, WILLIAM H.;CHING, LIH-YING;CHANG, MIKE F.
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L29/78;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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