探针组装体

摘要

提供一种可防止因残存于被检查体之电极周边的异物使探针受到损伤的探针组装体。探针组装体，具备：复数个探针，设有该探针之探针基板，以及设于该探针基板的复数个保护构件。各探针，具有一端支撑于该探针基板、从该探针基板之探针安装面相距间隔大致沿该安装面伸长的臂部。于各臂部之另一端，形成有从探针基板之安装面往离开的方向突出的针尖。保护构件，系在各臂部附近之至少其一侧被探针基板支撑。保护构件具有保护面。保护面系存在于对向于探针基板之安装面之臂部一面之相反侧另一面的高度位置附近。