Piezoelektrische Antriebsvorrichtung

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf eine piezoelektrische Antriebsvorrichtung mit einem bimodalen piezoelektrischen Resonator, DOLLAR A mit wenigstens einer ersten Steuerelektrode zur Ansteuerung des Resonators in einer ersten Antriebsrichtung, DOLLAR A mit wenigstens einer zweiten Steuerelektrode zur Ansteuerung des Resonators in einer zweiten Antriebsrichtung und DOLLAR A mit einer Ansteuerschaltung zur Lieferung von Steuersignalen an die erste und die zweite Steuerelektrode. DOLLAR A Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, DOLLAR A - daß eine Regelschaltung zur Regelung der Steuersignale vorgesehen ist DOLLAR A - daß bei Ansteuerung des Resonators in der ersten Antriebsrichtung mittels der ersten Steuerelektrode die zweite Steuerelektrode zur Lieferung eines Rückkopplungssignals an die Regelschaltung vorgesehen ist DOLLAR A - daß bei Ansteuerung des Resonators in der zweiten Antriebsrichtung mittels der zweiten Steuerelektrode die erste Steuerelektrode zur Lieferung eines Rückkopplungssignals an die Regelschaltung vorgesehen ist.