| 摘要 |
Um mit einer Handhabungsvorrichtung für Wafer, welche eine Lagereinrichtung aufweist, in der mehrere Wafer mit ihren Oberflächen im Wesentlichen parallel zueinander ausgerichtet, hintereinander und ausserhalb eines Transportbehälters anordenbar sind, welche mit einer Greifvorrichtung versehen ist, mit der einzelne Wafer aus der Lagereinrichtung entnehmbar und/oder in sie einsetzbar sind, ein Stapel von zu bearbeitenden Wafern in beliebiger, aber vorbestimmter Reihenfolge möglichst effizient zusammenzustellen, wird vorgeschlagen dass die Greifvorrichtung (43) mehrere Greifer (44) aufweist, welche gemeinsam verfahrbar, jedoch unabhängig voneinander betätigbar sind, wobei durch die Betätigung eines Greifers (44) jeweils zumindest ein Wafer erfassbar und/oder in die Lagereinrichtung (42) einsetzbar ist.
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