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发明名称 Vorrichtung zur Überwachung der Lage und/oder der Fokussierung eines fokussierten Lichtstrahls
摘要
申请公布号 DE69520013(D1) 申请公布日期 2001.03.08
申请号 DE1995620013 申请日期 1995.04.26
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS 发明人 LAPRAS, VALERIE;GIDON, PIERRE;POUTEAU, PATRICK
分类号 G02B6/122;G11B7/09;G11B7/12;G11B7/135;G11B11/10;G11B11/105;(IPC1-7):G11B7/12;G01D5/26;G01B11/02;G01B11/14 主分类号 G02B6/122
代理机构 代理人
主权项
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