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Beschrieben wird ein Transportsystem (1) zum Transport von Halbleiterprodukten (20) zwischen Bearbeitungsanlagen (5) in einem Gebäude, wobei das Transportsystem (1) von den Bearbeitungsanlagen (5) durch eine Gebäudedecke (7) getrennt ist und in Öffnungen (8) der Gebäudedecke (7) Zuführungen (4) zwischen dem Transportsystem (1) und den Bearbeitungsanlagen (5) aufweist. Das Transportsystem zeichnet sich dadurch aus, daß entsprechend Bearbeitungsbereichen (6), zu denen die Bearbeitungsanlagen (5) zusammengefaßt sind, das Transportsystem (1) in Intrabereich-Transportsysteme (10) unterteilt ist, die über die Zuführungen (4) mit den Bearbeitungsbereichen (6) und miteinander durch ein Interbereich-Transportsystem (3) verbunden sind, und daß die Intrabereich-Transportsysteme (10) jeweils zumindest einen Lagerbereich (11) zur Zwischenlagerung der Halbleiterprodukte (20) aufweisen, so daß das Lager den Bearbeitungsbereichen entsprechend unterteilt ist. Durch das erfindungsgemäße Transportsystem erübrigen sich Stellflächen für die Produktlagerung zwischen den Bearbeitungsanlagen, so daß zusätzliche Produktionsfläche entsteht. Der Transport zwischen den Bearbeitungsanlagen wird einfacher, schneller und leichter veränderbar.
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