| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung für eine präzise Temperaturmessung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69231396(T2) |
申请公布日期 |
2001.03.08 |
| 申请号 |
DE19926031396T |
申请日期 |
1992.10.29 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS |
发明人 |
MOSLEHI,MEHRDAD M. |
| 分类号 |
G01J5/00;G01J5/06;H01L21/26;H01L21/66;(IPC1-7):G02B5/00;G01J5/52 |
主分类号 |
G01J5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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