具有薄膜层叠片的全集成热喷墨打印头

摘要

一种用集成电路技术生产的一体化打印头,其中将包括喷墨元件(24)在内的薄膜层(24,40－50)设置在硅基片(20)的上表面。对以上各层进行蚀刻,以便形成通向所述喷墨元件(24)的导电体(25)。至少为每一个喷墨腔(30)设置一个通过薄膜层的输墨孔(26)。基片(20)的下表面蚀刻一个槽(36),以便油墨(38)流入该槽。该槽在接近输墨孔处的基片部分被全部蚀刻掉,从而在输墨孔附近构成了一叠片,该叠片支承喷墨元件。

主权项

1．一种打印装置，包括：一个打印头，包括：一个打印头基片(20)；设置在所述基片(20)的第一表面的若干薄膜层(24，40-50)，所述层中的至少一层形成若干喷墨元件(24)；通过所述薄膜层形成的输墨孔(26)；和位于所述基片(20)上的至少一个开口(36)，提供一个从所述基片的第二表面、通过所述基片并到达设在所述薄膜层上的所述输墨孔(26)的油墨通道；一所说薄膜层的叠片(45)，它构成所说输墨孔的一边缘，并伸出在所说基片边缘之外。