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发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR SUPPLYING SEMI-CONDUCTOR SOURCE MATERIAL
摘要
申请公布号 EP1080255(A1) 申请公布日期 2001.03.07
申请号 EP19990909793 申请日期 1999.03.03
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC. 发明人 DESTEFANO, MARK;EOFF, JAMES, D., SR.;SCHULTE, THOMAS, H.;ANDERSON, JOHN, M.;YAU, ENG, CHIN;RUGGERI, DONALD, R.;BALDWIN, DAVID, W.;BADINO, CHARLES, L.
分类号 B66F9/06;B66F9/18;C30B15/00;C30B15/02;(IPC1-7):C30B15/02;C30B35/00 主分类号 B66F9/06
代理机构 代理人
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