发明名称 Integrated optoelectronic sensor and method for its production
摘要
申请公布号 EP1014034(A3) 申请公布日期 2001.03.07
申请号 EP19990124602 申请日期 1999.12.10
申请人 DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 发明人 SPECKBACHER, PETER;MICHEL, DIETER
分类号 G01D5/30;G01B11/00;G01D5/347;G01D5/38;H01L31/12;H01L31/167;(IPC1-7):G01B11/02 主分类号 G01D5/30
代理机构 代理人
主权项
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