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发明名称
摘要
申请公布号 JP3141935(B2) 申请公布日期 2001.03.07
申请号 JP19980021061 申请日期 1998.02.02
申请人 发明人
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/778;H01L31/0328;H01L31/0336;H01L31/072;H01L31/109;(IPC1-7):H01L29/778 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
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