| 发明名称 |
METHOD FOR MEASURING THE POSITION OF STRUCTURES ON A SURFACE OF A MASK |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1080393(A1) |
申请公布日期 |
2001.03.07 |
| 申请号 |
EP19990917765 |
申请日期 |
1999.03.03 |
| 申请人 |
LEICA MICROSYSTEMS WETZLAR GMBH |
发明人 |
BLAESING-BANGERT, CAROLA |
| 分类号 |
G03F1/08;G06T7/60;G01B11/03;G03F1/00;G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):G03F1/00 |
主分类号 |
G03F1/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
