| 发明名称 |
PROCEDE DE FABRICATION DE FILMS DIELECTRIQUES POREUX, A FAIBLE PERMITTIVITE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2893761(B1) |
申请公布日期 |
2008.05.09 |
| 申请号 |
FR20050053558 |
申请日期 |
2005.11.23 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE INDUSTRIEL ET COMMERCIAL |
发明人 |
ZENASNI AZIZ;LEDUC PATRICK;JOUSSEAUME VINCENT;TROUVE HELENE |
| 分类号 |
H01L21/316;C23C16/30;C23C16/56 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
