| 发明名称 |
A method for improving focusing of an image to be projected onto a semiconductor wafer in a semiconductor manufacturing process |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IE990781(A1) |
申请公布日期 |
2001.03.07 |
| 申请号 |
IE19990000781 |
申请日期 |
1999.08.24 |
| 申请人 |
ANALOG RESEARCH AND DEVELOPMENT LIMITED |
发明人 |
JAMES THOMPSON;SHANE PATRICK GEARY |
| 分类号 |
G03F7/00;G03F9/02;(IPC1-7):G03F7/00 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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