发明名称 |
Laser plasma light source and method of generating radiation using the same |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2353929(A) |
申请公布日期 |
2001.03.07 |
申请号 |
GB20000027820 |
申请日期 |
1999.03.31 |
申请人 |
* JAPAN AS REPRESENTED BY DIRECTOR GENERAL OF AGENCY OF INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY |
发明人 |
TOSHIHISA * TOMIE |
分类号 |
H05G2/00;(IPC1-7):H05G2/00;G21K5/02;H05H1/24 |
主分类号 |
H05G2/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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