发明名称 Laser plasma light source and method of generating radiation using the same
摘要
申请公布号 GB2353929(A) 申请公布日期 2001.03.07
申请号 GB20000027820 申请日期 1999.03.31
申请人 * JAPAN AS REPRESENTED BY DIRECTOR GENERAL OF AGENCY OF INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 TOSHIHISA * TOMIE
分类号 H05G2/00;(IPC1-7):H05G2/00;G21K5/02;H05H1/24 主分类号 H05G2/00
代理机构 代理人
主权项
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